双膜法+EDI组合工艺制备电子级磷酸用超纯水

双膜法+EDI组合工艺制备电子级磷酸用超纯水

摘要：针对电子级磷酸用超纯水的特点，采用UF超滤、RO反渗透双膜法+EDI组合工艺进行水净化处理，使出水达到电子级磷酸用水标准。关键词：电子级磷酸；超滤；RO反渗透；EDI；抛光混床

电子级磷酸属于高纯磷酸，广泛应用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器等微电子工业，主要用于芯片的清洗和蚀刻，其纯度和洁净度对电子元器件的成品率、电性能和可靠性有很大影响，而配制电子级磷酸的超纯水质量又是决定电子级磷酸纯度和洁净度的重要因素。目前超纯水的制备，主要采用的工艺有离子交换法、两级反渗透、反渗透+EDI等为核心的三种方式，其余的工艺流程大都是在上述三种基础工艺上通过不同的组合搭配衍生而来。离子交换法需要时常对离子交换树脂进行再生，需耗费大量酸碱，对环境破环较大；两级反渗透处理出水水质相对不太高，对有较高水质要求时须搭配混床进行后续处理，同样需耗费酸碱；反渗透+EDI组合是采用反渗透作为预处理+EDI（电除盐）装置，不需酸碱再生，不破环环境，这是目前制备超纯水最经济、最环保的工艺。贵州瓮福集团电子级磷酸生产过程中的重结晶及配制均需用到电阻率≥16MΩ·cm的超纯水，针对进水水质及出水水质要求，本超纯水制备工艺设计中采用UF（超滤）+RO（反渗透）+EDI（电除盐）组合工艺进行处理，达到电阻率≥16MΩ·cm超纯水水质要求。

一、进水水质及出水要求

根据业主提供的资料，本工程超纯水制备原水水源采用瓮福集团自备水厂生产的符合国家生活饮用水标准的自来水，设计超纯水产量为：10m3/h，进水主要水质指标见下表：

2.工艺说明及主要设备参数：

2.1原水供水系统:

为防止自来水供水量或供水压力不足，保证后续用水的稳定性，系统设置一座5m3的不锈钢原水箱，含控制阀、管件及液位控制器；另为了后续预处理的稳定，设置恒压供水系统一套，包含不锈钢多级泵2台(一用一备），泵主要性能参数为Q=25m3/h,H=0.15Mpa。

2.2预处理系统:

目前的反渗透膜不能直接对原水进行处理，原水中的各种成份会影响和