真空技术概论 - 图文

东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之一

?从20世纪50年代到70年代的20多年

真空技术概论

里，真空技术融入许多尖端科学技术并一起得到迅速发展。高能加速器、等离子体核聚变装置、微电子学中朝大规模集成电路，特别是航天技术，促使真空技术发生新的飞跃。

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?真空进入了“超清洁”时代，压力

－4－5－12范围从10～10pa下降到10～

真

空技术概论

－1310pa。一下子真空独体高了七八

个数量级，真空系统容积大到数万

7立方米：低温泵的抽速可高达10升/

秒；

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?今天的真空技术，已能获得和测量

5－13从大气压（10pa）到10pa，压力

真

空技术概论

范围达18个数量级，并随着某些新应用的开拓而要求一步步地接近“理想真空”。

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三、真空实用技术及其应用

?1、形成压差可以做功。?2、提高热电绝缘性能。?3、延长粒子飞行路径。

真空技术概论

?4、去除周围气体屏障。?5、减少有害气体作用。

?6、高度清洁的物体表面。