薄膜材料与薄膜技术复习

透射电子显微镜（电子衍射） 用于薄膜（透明） 分析 3.原子化学键合表征

能量损失谱（EELS）：主峰---元素种类 主峰化学位移---配位结构 精细结构---键合情况 扩展X射线吸收精细结构（EXAFS）：吸收线---元素种类 精细结构---键合情况 辨析红外吸收光谱与拉曼光谱

①红外吸收光谱：构成薄膜样品分子振动的频率一般从红外延展到远红外，用红外线照射

薄膜样品时，与样品分子振动频率相同的红外线就会被分子共振吸收。每个分子都有确定的振动频率，因此可用红外光谱标识薄膜中所含分子并确立分子间的键合特征。 拉曼光谱：可见光或紫外线照射在样品上时，出来的散射光频率会有稍许改变，这种改变乃是由分子振动引起的。因此可用拉曼光谱测定这种频率的改变，从而分析和鉴别薄膜样品中的化学组成和化学键合。 ②都是测定薄膜样品中分子振动的。

③对于具有对称中心的分子振动，红外不敏感，拉曼敏感；对于反对称中心的分子振动，则红外敏感拉曼不敏感。对于对称性高的分子，拉曼敏感。 辨析红外吸收光谱与傅里叶变换红外光谱（FTIR） ①二者原理一致

②传统的红外吸收光谱依赖于红外光束通过格栅色散到单色元件中进行扫描。 FTIR依赖于相干干涉仪