扫描电镜的结构、原理及其操作使用 - 图文

三、扫描电镜的基本原理电子枪的热阴极或场发射阴极发出的电子受阳极电压（1-50kV）加热并形成笔尖状电子束。经过二或三个（电）磁透镜的作用，在样品表面会聚成一个直径可小至10-100 ?的细束，携带束流量为10-10～10-12A。在末透镜上部的扫描线圈作用下，细电子束在样品表面作光栅状扫描，即从左上方向右上方扫，扫完一行再扫其下相邻的第二行，直到扫完一幅（或帧）。如此反复运动。

四、扫描电镜的调整

?电子束合轴?放入试样?图像调整

四、扫描电镜的调整

?电子束合轴

调整电子束对中（合轴）的方法有机械式和电磁式。①机械式是调整合轴螺钉

②电磁式则是调整电磁对中线圈的电流，以此移动电子束相对光路中心位置达到合轴目的四、扫描电镜的调整

?放入试样

将试样固定在试样盘上，并进行导电处理，使试样处于导电状态。将试样盘装入样品更换室，预抽三分钟，然后将样品更换室阀门打开，将试样盘放在样品台上，在抽出试样盘的拉杆后关闭隔离阀。