扫描电镜的结构、原理及其操作使用 - 图文

二、扫描电镜的构造

?扫描线圈其作用是使电子束偏转，并在样品表面作有规则的扫动，电子束在样品上的扫描动作和在显像管上的扫描动作由同一扫描发生器控制,保持严格同步。

当电子束进入偏转线圈时，方向发生转折，随后又由下偏转线圈使它的方向发生第二次转折,再通过末级透镜的光心射到样品表面。在上下偏转线圈的作用下，在样品表面扫描出方形区域，相应地在样品上也画出一副比例图像。二、扫描电镜的构造扫描电镜的倍率放大是通过改变电子束偏转角度来实现放大倍率的调节。因为观察用的荧光屏尺寸是一定的，所以电子束偏转角越小，在试样上扫描面积越小，其放大倍率M越大。M?Ac(CRT上扫描振幅)As(电子束在样品表面扫描振幅)放大倍率一般是20～20×104倍。二、扫描电镜的构造

图4 电子束在样品表

面的扫描方式

(a)光栅扫描(b)角光栅扫描二、扫描电镜的构造

机械系统包括：?支撑部分?样品室

样品室中有样品台和信号探测器，样品台除了能夹持一定尺寸的样品，还能使样品作平移、倾斜、转动等运动，同时样品还可在样品台上加热、冷却和进行力学性能实验（如拉伸和疲劳）。