扫描电镜的结构、原理及其操作使用 - 图文

二、扫描电镜的构造

?电子枪为了获得较高的信号强度和扫描像，由电子枪发射的扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。常用的电子枪有三种：普通热阴极三极电子枪、六硼化镧阴极电子枪和场发射电子枪，其性能如表1所示。

二、扫描电镜的构造

表1 几种类型电子枪性能比较

二、扫描电镜的构造

(a)热电子发射型电子枪

(b)热阴极场发射电子枪图3 电子枪构造示意图

二、扫描电镜的构造

?电磁聚光镜其功能是把电子枪的束斑逐级聚焦缩小，因照射到样品上的电子束光斑越小，其分辨率就愈高。

扫描电镜通常都有三个聚光镜，前两个是强透镜，缩小束斑，第三个透镜是弱透镜，焦距长，便于在样品室和聚光镜之间装入各种信号探测器。

为了降低电子束的发散程度，每级聚光镜都装有光阑。为了消除像散，装有消像散器。