半导体工业用特种材料生产项目可行性研究报告

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半导体工业用特种材料制造项目

导体工业用特种材料制造项目就是在当地工业发展规划的基础上 提出来的。

第二节 项目提出的背景

随着信息时代的来临，集成电路的技术进步日新月异。目前 世界集成电路大生产的主流技术为 8 英寸 0.18 微米，正在向 12 英寸 0.13 微米过渡，根据美国半导体协会（SIA）预测，到 2010 年将能达到 18 英寸 0.07~0.05 微米。集成电路的技术进步还将继 续遵循摩尔定律，即每 18 个月集成度提高一倍，成本降低一半。 系统集成芯片(SOC)技术；微电子机械（MEMS）技术；真空微电 子技术；神经网络芯片和生物芯片；砷化镓（GaAs）集成电路、 锗硅（GeSi）集成电路；基于量子效应的单电子器件和量子集成 电路等，正在成为人们研究的热点，21 世纪将有可能成为新的技 术发展领域。

世界集成电路产业的发展十分迅速。2004 年世界半导体产值 近 2000 亿美元，而以集成电路为基础的电子信息产品的世界市场 总额超过 1 万亿美元，成为世界第一大产业。近年来，得益于国 家政策的支持和半导体产业新一轮发展高峰的带动，中国集成电 路产业实现快速发展，2005 年中国集成电路产量达到了 261.1 亿 块，较 2004 年增长了 19.0%，2001-2005 年的年复合增长率达到

了 42.2%。 改革开放以来，我国信息产业、通信行业、精密制

造、宇航

科技在我国得到迅猛发展。以计算机市场和集成电路产业的持续 快速增长为例。我国计算机产业和集成电路产业面向国内、外两 个市场，利用国内外两种资源逐步形成和壮大，目前我国已经成 为计算机产品的生产大国。围绕 PC 的零部件产品的配套生产能力

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已经形成，显示器、打印机、光驱、软驱、硬盘磁头、鼠标、电 源、机箱等外部设备产品已成为世界性的生产基地，产品大批量 出口。总体上看，我国的计算机产业，已经融入世界计算机产业 的大循环中，但整体尚处于整个产业链的中下游。因此，加大产 业结构和产品结构调整力度，加快发展高附加值产品是计算机产 业努力的方向

上世纪 90 年代以来，我国信息产业以三倍于国民生产总值的 增长速度高速发展，为集成电路产业提供了巨大的市场空间。“十 五”期间，信息产业保持 20%以上的增长速度，1992～1997 年计算 机市场年增长率一直保持在 40%以上，1998 年由于受到亚洲金融 危机等因素的影响，市场增长速度放慢，降到 13.9%。1999 年开 始回升，年增长率达 20%，市场销售额为 1750 亿元。2000 年市场 总体规模达到 2190 亿元，增长率达到 25.1%，工业总产值为 2800 亿元，增长率为 36.6%。2004 年，电子信息产业结构不断优化， 计算机类和电子元器件类的增幅都超过 40%以上，其生产规模在 全行业中所占比重继续扩大，同比分别上升 1.3 和 1.1 个百分点。

2005 年我国电子信息产业总产值达到 3.3 万亿元人民币，电子产 品出口 2500 亿美元，占国家出口总额的 35％。再如，1998 年～ 2002 年我国通信产业规模不断扩大，生产量年增长率分别为

473%、138%、61%和 51%。新型电子元器件产销大幅增长，尤其 是集成电路产品，产销同比均超过 50%以上。

近年来，随着我国电子信息企业数量快速增长，全行业企业 数达 6.7 万个，其中制造业规模以上企业数 16007 个，规模以下企 业数为 39816 个；软件企业 11660 个。企业经济规模继续扩大， 全年电子百强营业收入达 8800 亿元以上，同比增速超过 15%，其 中营业收入 100 亿元以上的企业超过 20 家。科技创新日趋深入。 新品开发稳步增长，全行业新品产值率为 20.6%，比上年提高了

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0.2 个百分点。企业研发投入和拥有专利数不断提高，全行业研发 投入超过 800 亿元。电子信息百强企业研发投入占销售收入比重 不断提高，有 15 家企业比重达 5%以上。同时，亚洲地区已发展 成为全球信息技术产业的生产重镇，无论是在个人电脑、外部设 备，或者半导体、关键零部件等的研究开发和生产制造上，亚洲 地区都扮演着越来越重要的角色。例如台湾的计算机硬件制造从

1980 年至 1993 年平均年增长率高达 45%，1995 年仅次于美、日 而成为世界第三大硬件生产地区。1996 年台湾已有 12 项信息硬件 产品的市场占有率全球第一，包括显视器、主机板、电源、图形 卡、键盘、鼠标、掌上型扫描仪、视频卡、笔记本电脑、台式扫 描仪、声卡和调制解调器等。

目前电子信息产业已成为我国国民经济第一支柱产业，国家 外贸出口第一大户，产业规模位居世界第二位。预计 2006 年全球 经济贸易增速将明显加快，特别是美国、欧盟、日本等经济体还 会保持增长态势。世界信息产业继续平稳增长，3C、数字电视、 网络家电、集成电路、软件将成为未来产业新的增长点，信息产 业仍将是最具增长潜力的领域。信息产业的高速发展，国民经济 和社会信息化的加速推进，将会对集成电路产业产生强大的拉动 作用，预计在“十一五”期间，我国的集成电路市场仍将保持年均

20%以上的增长速度。到 2010 年，市场需求总规模预计将达 3000 亿元。据国外权威机构预测，未来十年内，世界半导体的年平均 增长率将达 15%以上，到 2010 年全世界半导体的年销售额可达到 8000 亿美元左右，它将支持 4 万亿美元的电子装备市场。据美国 iSuppli 公司的调查研究：新型电子元器件市场已从 2001 年的 334 亿美元增长到 2006 年的 441 亿美元，今后 10 年内仍将保持每年

15%以上的增长速度。可以说，半导体（集成电路）制造业蕴藏的 商机非常广阔。

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半导体工业用特种材料制造项目

伴随着集成电路制造业在中国的兴起，必然带动相关产业， 特别是上游基础产业的蓬勃发展。包括半导体（集成电路）制造 过程需要高纯度的特种材料。这些专用化学品是半导体制造过程 中不可缺少的基础支撑源材料，它的纯度和净洁度直接影响到集 成电路产品的质量、集成度、特定技术指标和成品率。

半导体（集成电路）制造过程需要多种超纯化学品，这些超 纯化学品通常被称为 SEMI 级化学品，其纯度要求达到 99.999% 以上。 SEMI 是一个全球高科技领域专业行业协会，创立于 1970

年，拥有会员公司 2300 多家，会员系从事半导体和平面显示等方 面的开发、生产和技术供应的公司。据统 计，2005 年全球半导体 和平板显示的设备及材料销售收入已达到 930 亿美元，SEMI 已成 为全球最大的半导体和平板显示产业的非营利性协会。

目前世界上发达国家依据生产和中介垄断 SEMI 超纯气、液体 化学品市场。例如：英国 BOC, 美国 AIR PRODUCTS 和 PRAXAIR, 法国 AIR LIQUIDE，德国 LINDE 等等。高纯液体化学品全球主要 由日本关东化工（Kanto）、德国默克（Merck）、美国空气产品

（ AirProducts ）、日本和纯化工（ Wakopure ）、美国哈尼威尔

（Honeywell）供应。更多的小型企业依靠提供 SEMI 级别的产品 给以上的跨国公司，已达到半导体化学品的市场分享。

目前中国市场基本上被中外合资企业所占有，中国特种气体 厂家主要转销国外产品。中国内地企业能提供超高纯气体和液体 化学品的品种很少，而且，质量还达不到高水平生产的要求，仅 能满足 2－3μm 工艺技术要求。中国急需建设包括特种气体在内 的超高纯气体和液体化学品项目，满足中国半导体（集成电路） 事业蓬勃发展的需要。

综上所述，项目符合国家以及山东省行业发展规划，符合东 营市城市发展总体规划，项目选址合理。在国家住房制度改革等

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