KOLON干膜培训资料.pp t

KOLON干膜曝光控制

?曝光能量控制在6-8格盖膜（21级曝光尺）?KP-2640干膜曝光能量与曝光尺对应表：

能量设置（mj/cm2）172130对应光尺（盖膜）678影像转移（Image Transfer）

干膜显影及后续（正片）：

先褪除感光干膜露出未镀铜锡或其他抗蚀层的底铜，再蚀刻掉露出的底铜。

影像转移（Image Transfer）

?干膜显影及后续（负片）：

显影

通过碳酸钠药水的作用，将未曝光部份的干膜溶解并冲洗掉，留下感光的部份。

蚀刻

未被感光干膜所覆盖的露铜部份将会被蚀刻掉，从而形成线路。

褪膜

将受保护的线路上面的感光干膜用NaOH碱液褪除掉。

AOI

检查所形成线路的品质情况

影像转移（Image Transfer）