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针对集成电路芯片制造业和集成电路封装业，资源综合利用指标均为生产用水重复利用率，该指标为定量评价正向指标，以%为单位。针对集成电路芯片制造业，生产用水重复利用率指标需按照产品尺寸（6寸及以下、8寸和12寸）分别确定基准值。
④ 产品特征指标
针对集成电路芯片制造业和集成电路封装业，产品特征指标均为产品中限用物质限量，按照对于限用物质的要求分为三级基准值，基准值参照了《电子器件（半导体芯片）制造业清洁生产评价指标体系》（征求意见稿）中对于产品中限用物质限量的要求，对产品中铅、汞、镉、六价铬、多溴联苯和多溴二苯醚六大类物质含量以及其它法规或顾客要求的限用物质按照三级基准分别作了规定，该指标为定性指标。
⑤ 清洁生产管理指标
针对集成电路芯片制造业和集成电路封装业，清洁生产管理水平是影响行业清洁生产绩效的重要因素，清洁生产管理指标从环境法律法规标准执行情况、产业政策执行情况、环境管理体系制度及清洁生产审核情况、能源管理体系及能源计量器具配备情况、危险化学品管理、危险废物处理处置五个方面提出规范性要求，该指标均为定性指标。
6.5 评价方法 （1）权重分值的确定 ① 权重分值确定思路
清洁生产评价指标的权重值反映了该指标在整个清洁生产评价指标体系中所占的比重。它是主要是根据该项指标对集成电路制造业
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清洁生产实际效益和水平的影响程度大小及其实施的难易程度确定的。在实际确定权重分值时应遵循以下思路：
一是要突出强调污染物减排指标。污染物指标对于集成电路制造业清洁生产水平影响最突出，特别是一些规模较小、技术落后的企业在污染控制方面存在明显问题，造成的污染问题严重，影响了企业的清洁生产水平。北京市当前对于污染企业采取控制和迁出的措施，清洁生产审核将作为重要依据之一，目的是让污染排放存在问题的企业退出市场，进一步规范集成电路行业，给优秀企业留出发展空间。
二是要兼顾北京市水资源缺乏现状。北京市作为资源型重度缺水特大城市，已经采取限制高耗水产业发展的措施，集成电路制造业工艺中对于新鲜水的消耗量极大，成为产业发展的限制性因素，因此在指标体系中将水耗作为一个重要考虑因素，同时兼顾企业产品产量规模。
三是针对相关联的指标，适当减少单项权重。关联指标在一定程度上相互影响，例如新鲜水用量和重复用水率指标，重复用水率越高，相应新鲜水用量就减少，因此在某种程度上这两个指标在清洁生产水平方面相互促进。因此，针对关联指标，在合理的基础上减少单项指标权重。
四是针对同类指标项均衡考虑。各指标项在赋予权重时，按照指标的影响程度及其实施难易程度进行分类，区分权重值，针对同类相似指标应均衡考虑，赋予相同权重。
② 权重分值
本标准中指标体系权重值首先依据上述思路确定重要程度、相关性，借助AHP方法计算并修改。
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针对集成电路芯片制造业与集成电路封装业，污染物产生指标对于企业清洁生产水平影响最大，资源能源消耗指标、清洁生产管理指标影响其次，资源综合利用指标、产品特征指标影响相对较小。因此，在五类指标中，资源能源消耗指标的总权重为20，污染物产生指标的总权重为54，资源综合利用指标权重为6，产品特征指标权重为6，清洁生产管理指标权重为14。
考虑到在集成电路制造业清洁生产评价指标体系中存在“单位产品新鲜水用量”、“单位产品工业废水排放量”以及“生产用水重复利用率”三项与水资源有关的指标，而且三者存在直接相关关系，三者权重分值之和确定为20。故调整“单位产品新鲜水用量”权重为8，“单位产品工业废水排放量”以及“生产用水重复利用率”权重分值均为6。
因此，在集成电路芯片制造业清洁生产评价指标体系中，单位产品综合能耗分权重值为12，单位产品新鲜水用量为8。在集成电路封装业清洁生产评价指标体系中，单位产品综合能耗分权重值为6，主要生产系统能耗占综合能耗比例分权重值为6，单位产品新鲜水用量分权重值为8。
针对污染物产生指标，在集成电路芯片制造业清洁生产评价指标体系中，废水指标为8项，废气指标为2项，危废指标为3项，基于集成电路芯片制造污染物特征及影响，最终得出废水指标总权重值为34，废气指标总权重值为12，危废指标总权重值为8。体现废水污染物产生的指标项中，单位产品工业废水排放量反映了废水排放强度，权重分值较高，为6，氟化物、砷为普遍排放物质，且对环境影响严重，权重分值为6，氰化物、铜为部分企业特征排放物质，对环境影响较为严重，权重分值为4，化学需氧量(COD)、氨氮不属于行业特征排放物质，但排放量比较大，权重分值为3，总磷的权重分值为2；
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体现废气污染物产生的指标项中，氟化氢和挥发性有机物（VOCs）均为行业特征排放物质，且对环境影响严重，故权重分值均为6；体现危险废弃物产生的指标项中，废酸排放量权重分值为4，含氟废泥和废有机溶剂权重分值均为2。
针对污染物产生指标，在集成电路封装业清洁生产评价指标体系中，废水指标为9项，废气指标为2项，危废指标为1项，基于集成电路封装污染物特征及影响，最终得出废水指标总权重值为36，废气指标总权重值为10，危废指标总权重值为8。体现废水污染物产生的指标项中，单位产品工业废水排放量反映了废水排放强度，权重分值较高，为6，氟化物为普遍排放物质，且对环境影响严重，权重分值为6，氰化物、铜、铅、镍为部分企业特征排放物质，对环境影响较为严重，权重分值为4，化学需氧量(COD)、氨氮不属于行业特征排放物质，但排放量比较大，权重分值为3，阴离子表面活性剂（LAS）的权重分值为2；体现危险废弃物产生的指标项单位产品危险废弃物产生量的权重分值为8，该指标有效衡量了危险废弃物排放强度，具有一定的强制性，因而分配权重值较大。
此外，针对集成电路芯片制造业和集成电路封装业，资源综合利用指标、产品特征指标及清洁生产管理指标的指标项及其权重分值均一致。其中，资源综合利用指标仅生产用水重复利用率一项，权重分值为6；产品特征指标仅产品中限用物质限量一项，权重分值为6；清洁生产管理指标中，环境法律法规标准执行情况、环境管理体系制度及清洁生产审核情况较为重要，权重分值为3，产业政策执行情况、能源管理体系及能源计量器具配备情况、危险化学品管理及危险废物处理处置权重分值均为2。
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