热偶真空计的工作特性及其使用

书山有路勤为径，学海无涯苦作舟

热偶真空计的工作特性及其使用

1、热偶真空计工作特性 热偶真空计是相对真空计，其压力-热偶电势 对应值难以用计算方法精确求得，因此，常常在标准环境条件下，用绝对真空 计或用校准系统经校准确定。在一定的加热电流条件下，配用 DL-3 型规管的热 偶真空计对干燥空气的校准曲线如由为了使用上的方便，通常按照 pE 校准曲线 将毫伏计的刻度改成真空度。用这样刻度的真空计测量时，可直接读出真空 度，再也不需要根据测得的 p-E 校准曲线查被测真空度。

2、气体种类的影响 热偶真空计对不同气体的测量结果是不同的，真空技 术网（chvacuum/）认为这是由于不同气体分子的导热系数不同引起的。但各种 气体的 p-E 校准曲线形状都类同，因此，在测量不同气体的压力时，可根据干 燥空气(或氮气)刻度的压力读数，再乘以相应的被测气体相对灵敏度，就可得到 该气体的实际压力，即

通常以干燥空气(或氮气)的相对灵敏度为 1，其他一些常用的气体和蒸气 的相对灵敏度如表 4-2 所示。相对灵敏度表明了气体热传导的性质。从表可 知，对于气体分子中具有相同原子数的气体或蒸气，其相对灵敏度 Sr 随分子量 的增大而增大。

表 4-2 一些气体与蒸气的相对灵敏度

3、热偶规管加热电流的确定 由于制造热偶规管所用的材料及工艺等原 因，每个规管的加热电流均不相同；在使用过程中也会因规管老化使得加热电 流变大；此外，不同测量范围的加热电流也有差异。因此，真空技术网 （chvacuum/）认为在使用热偶计时，应按不同的量程确定规管的加热电流。 ①10～10-1Pa 量程：规管须垂直倒置，在真空度优于 10-2Pa 时调定加热