年产3000吨电子级多晶硅建设项目多晶硅可研报告

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目 录

第一章

总论 .................................................... 1

1.1概述 ........................................................ 1

1.1.1项目名称、主办单位、建设地点 .......................... 1 1.1.2编制依据和原则 ........................................ 1 1.1.3项目提出的背景及投资的必要性 .......................... 2 1.2项目建设的有利条件 .......................................... 5

1.2.1xxxxxx概况 ............................................ 5 1.2.2项目区水资源概况 ...................................... 6 1.2.3供电情况 .............................................. 7 1.2.4当地交通运输现状 ...................................... 7 1.3项目研究范围 ................................................ 8

1.3.1工艺生产装置 .......................................... 8 1.3.2辅助生产装置 .......................................... 8 1.3.3公用工程设施 .......................................... 8 1.3.4其它 .................................................. 9 1.4项目投资 ................................................ 9 1.5项目主要经济技术指标 .................................... 9

第二章 市场预测 ................................................. 11

2.1产品用途 ................................................... 11 2.2市场预测分析 ............................................... 12

2.2.1国外市场分析 ......................................... 12 2.2.2国内市场分析 ......................................... 15 2.3产品市场价格分析 ........................................... 17 第三章 生产规模和产品方案 ....................................... 19

3.1生产规模 ................................................... 19 3.2产品方案 ................................................... 19 第四章 工艺技术方案 ............................................. 21

4.1工艺技术方案的选择 ......................................... 21

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4.1.1工艺技术概况 ......................................... 21 4.1.2工艺技术方案的确定 ................................... 22 4.1.3工艺流程 ............................................. 23 4.2工艺装置 ................................................... 24

4.2.1 三氯氢硅车间......................................... 24 4.2.2氯硅烷提纯车间 ....................................... 29 4.2.3多晶硅车间 ........................................... 32 4.2.4高纯多晶硅后处理工序 ................................. 36 4.2.5硅芯制备工序 ......................................... 38 4.2.6氢气制备及净化车间 ................................... 38 4.3 产品产量和原材料、辅助材料及公用工程消耗定额及消耗量....... 40

4.3.1产品产量 ............................................. 40 4.3.2原材料、辅助材料及公用工程消耗定额及消耗量 ........... 40 4.4自控技术方案 ............................................... 41

4.4.1简述 ................................................. 41 4.3.2控制水平 ............................................. 42 4.4.3仪表选型 ............................................. 43 4.4.4仪表电源及仪表空气 ................................... 43 4.5主要设备的选择 ............................................. 43

4.5.1设备选择原则 ......................................... 43 4.5.2主要设备选型 ......................................... 44 4.5.3主要设备表 ........................................... 45

第五章 原料、燃料及动力供应 ..................................... 47

5.1主要原材料 ................................................. 47

5.1.1工业硅粉 ............................................. 47 5.1.2液氯 ................................................. 48 5.1.3脱盐水 ............................................... 49 5.1.4氢气 ................................................. 49 5.2辅助材料 ................................................... 50

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5.2.1苛性钠 ............................................... 50 5.2.2生石灰 ............................................... 50 5.2.3氢氟酸 ............................................... 50 5.2.4硝酸 ................................................. 51 5.3公用工程规格及供应 ......................................... 51

5.3.1、蒸汽................................................ 51 5.3.2循环水 ............................................... 51 5.3.3新鲜水 ............................................... 51 5.3.4电力 ................................................. 52 5.3.5氮气 ................................................. 52 5.3.6仪表空气 ............................................. 52

第六章 建厂条件及厂址方案 ....................................... 53

6.1建厂条件 ................................................... 53

6.1.1厂址区域概况 ......................................... 53 6.1.2供热 ................................................. 55 6.2厂址方案 ................................................... 55 第七章 总图运输 ................................................. 56

7.1总平面布置 ................................................. 56

7.1.1总平面布置原则 ....................................... 56 7.1.2功能划分 ............................................. 56 7.1.3总平面布置方案 ....................................... 57 7.1.4主要技术经济指标 ..................................... 57 7.2竖向设计 ................................................... 58

7.2.1设计原则 ............................................. 58 7.2.2竖向设计方式及土方工程量 ............................. 58 7.3工厂运输 ................................................... 59

7.3.1运输量 ............................................... 59 7.3.2运输方案及运输车辆 ................................... 59 7.4工厂防护设施 ........................................... 60

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