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1、复合真空计使用说明 1.1 主要性能:
1.1.1 本复合真空计由一个热偶计和一个宽量程的复合真空计构成. 热偶采用单一的一支ZJ—54D 热偶规管进行测量。
复合真空计用一支ZJ-54D 热偶规和一支ZJ-10 电离规进行测量。 1.1.2 测量范围:
热偶计:103Pa~10-1Pa
复合计:103Pa~10-4Pa 。其中电离规3.5Pa~10-4Pa。
1.1.3 本复合真空计配有RS232 接口,可与带相应接口的计算机联机。测量数据由计算机进行管理。
1.1.4 供电:本复合真空计采用单相220V 交流供电。 电压范围:220VAC±10%; 消耗功率:≤30W
1.1.5 使用和储存环境:温度:5℃~35℃ 湿度:0~85 %
严禁在高温潮湿和有腐蚀性气体的环境下工作和储存。 严禁在工作时猛烈碰撞。
1.1.6 机箱尺寸:宽×高× 深=480×119×320 重量:约7Kg
1.1.7 出厂时规管引线均为5m。最长建议不要长于10m。
1.1.8 RS232 接口建议采用屏蔽电缆。屏蔽线与机壳相连,并接地。 1.1.9 电离规的启动方式:由面板上的自动、手动开关控制。 自动方式下,热偶规测量值<3.5Pa时接通,>4.0Pa 时关闭。 手动方式下,由面板上的二个ON和OFF按纽控制。 当真空度大于10Pa时,请不要打开电离规。 2.操作说明:
本复合真空计是采用单片机技术的智能化仪器。
打开电源后,真空计初始化显示“HZHZ HZHZ”初始化完后,热偶计直接进入工作状态。没有接入规管或规管暴露在大气中时,都是显示103Pa。
复合计:分手动和自动启动方式,在面板上,设有电离规状态指示灯。电离规关闭或没接或故障时,ZJ-10 指示灯亮。
在手动方式下,在没有接通电离规之前,若热偶规正常,则指示热偶规测量的真空值。接通电离规后,显示的是电离规测量的真空度。电离规测量值≥5.0Pa时,自动关闭电离规灯丝。
在自动方式下。当热偶规测量值在103~3.5Pa 范围内时,显示的是热偶规的测量值。≤3.5Pa 时,显示的是电离规的测量值。 当热偶规测量值<3.5Pa 时,自动启动电离规。
当热偶规或电离规测量值≥4.0Pa 时,自动关闭电离规。 若没有接热偶规或热偶规故障,窗口指示“-、-0”。
热偶规测量值>5Pa而电离规不能关闭时,窗口指示“-、-1”。
注意:仪器电源没切断前,不能更换规管! 电离规在灯丝关闭状态下,仍有高压! 3.RS232 口通讯协议:
本复合真空计提供一个可与带有RS232 通讯接口的计算机相接的标准
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RS232 接口。电平:±8V-±12V 。 通讯波特率:4800。
数据格式:一个启动位,8 个数据位,一个停止位。
无奇偶校验。
握手信号:由主叫方向仪器发出一个8 位字节的十六进制数30H 。
真空计在接收到有效的握手信号后,将当前显示的信息共6 位从左至右的发送出去。采用内码发送。 举例如下:
当前面板显示如下:
显示值:2 3 -1 4 7 -2 次 序:1 2 3 4 5 6 热偶计 复合计
串口接收到有效的30H字节之后,依1.2.3.4.5.6 的次序送出显示的字符: 82H 03H 81H 84H 07H 82H 。
对于底数,最高位(位7)置1表示小数点。 对于指数,最高位置1 表示负指数。 如 82H 的底数在显示时是2; 81H的指数在显示时是-1。 内码对照如下:
显示码: 内码: 0~9 00H~09H A~F 0AH~0FH H 10H L 11H P 12H - 13H 空 14H
建议用RS232 口通讯取数时,频率控制在8 次/秒以内,以免引出测量误差和显示闪烁。
仪器一方RS232接口采用5 芯×16 型航空插头。接线如下图:
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发送接收地
4.仪器的简易调整及故障判断:
4.1 热偶计规管更换的调整:
4.1.1 本规管采用的是ZJ-54D 。接好真空规管到真空系统中,在大气情
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况下,调节面板上“左”方的大气调节电位器,使指示值为10。
4.1.2 抽真空达10-2Pa 以下,调节“左”方的加热电流电位器,使指示值为1.1~1.0-1 Pa。
4.1.3 重复4.1.1 、4.1.2 。使暴大气指示103 、10-2 以下为10-1。
4.2复合计规管更换后的调整:与热偶计规管的调整方法相同,只是电位 器换成“右”方指示的大气调节电位器和加热电流电位器。
4.3 电离规测量部分电路正常与否的简易判断法:
4.3.1 不接电离规和收集板。接通电源后,先检查板上是否有±15V电源。 4.3.2 在4.3.1 正常的情况下,用200mV 档测量T2-GND应接近于0mV, 否则调整VT7 ,使之为0mV 左右。再测T3~GND,也应为0mV左右。如果相差太远则可调整VT12使之为0mV 左右。
在上述测量的基础上,再测T3-GND ,并用手轻轻地碰几下“I+”端, 应有±100~±200mV 左右的显示值。
上述说明测量部分正常。
4.3.3 再测J3 端子的165V-AGND 的电压,应有165±2V的电压。灯丝 端与GND 之间,应有+45V±1.5V 电压。
4.3.4 断电拨掉J7插头,接上未开封的ZJ-10电离规后,再打开电源,规 管灯丝应亮。
5.最易出现的故障:
5.1 收集极接头断线或接触不良。这时电离规指示值为10-5~10-6指示级, 处理:检查并接好、接紧。
5.2 后面板上接头接触不良。
处理:多插拔儿次。在断电情况下用万用表检查,是否接通。
5.3 机器内接头因振动或氧化而接触不良。 处理:在断电情况下,将可插拔部分插拔几次。 集成电路用手压一二下。
5.4 上述处理仍不见效,除非很有经验,厂家不建议用户动烙铁,应完整 地交厂家维修。
5.5 机内有二个变压器,一个变压器提供2组18V,1组9V电源,一个提 供18VAC /1A , 170VAC/0.1A 电源。接线时,务必参照印制板上的字符说明,并 反复校对后进行,千万不可接错。
5.6 用户使用不当造成的损坏,厂家将实行有偿维修。(后附接线图)
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JL-10A 复合真空计执行标准:
JJG587-89 、JJG256-81 、JJG1050-96 、JJFl062-1999 、GB6587 、JJG622-89 、GB4706 计量许可证:湘制04000137号
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