Roll-to-Roll磁控溅射镀膜系统设计论文

Roll-to-Roll磁控溅射系统设计

图5-7 进气口偏离中间200mm处的网格模型

5.3.1 气体压强分析

图5-8、5-9分别为不同位置的整体压强情况，图5-11、5-11分别为对应的剖视图。

图5-8 进气口在中间时的压强分布

21 / 29

Roll-to-Roll磁控溅射系统设计

图5-9 进气口在旁边时的压强分布

图5-10 进气口在中间时的压强分布剖视图

图5-11 进气口在旁边时的压强分布剖视图

从图5-8、5-9、5-10、5-11四副压强图中我们可以看出，当把进气口开在中间时，真空室所受压强最大处为进气口处的断面，其次是靠近出气口那端。而当把进

22 / 29

Roll-to-Roll磁控溅射系统设计

气口开在远离中间位置时，所受压强最大处为出气口处，其次为进气口处。 经过分析比较，我们有必要对进气口端和出气口端的真空壁进行加强。

5.3.2 气体的速度分析

图5-12 进气口在中间时的气体流速图

图5-13 进气口在中间气体流速分布图

23 / 29

Roll-to-Roll磁控溅射系统设计

图5-14 进气口在中间是气体流速剖视图

图5-15 进气口开在旁边时的整体气体流速图

24 / 29