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五项LED外延片及其衬底和测试方法国家标准发布 GB/T 30854-2014《LED发光用氮化镓基外延片》,发布日期:2014-07-24,实施日期:2015-04-01。由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口,由中国科学院半导体研究所起草。
GB/T 30855-2014《LED外延芯片用磷化镓衬底》》,发布日期:2014-07-24,实施日期:2015-04-01。由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口,由中国科学院半导体研究所、有研光电新材料有限公司、云南中科鑫圆晶体材料有限公司起草。
GB/T 30856-2014《LED外延芯片用砷化镓衬底》,发布日期:2014-07-24,实施日期:2015-04-01。由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口,由中国科学院半导体研究所、有研光电新材料有限公司、云南中科鑫圆晶体材料有限公司起草。
GB/T 30857-2014《蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法》,发布日期:2014-07-24,实施日期:2015-04-01。由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口,由协鑫光电科技控股有限公司、中国科学院上海光机所、浙江昀丰新能源科技有限公司起草。
GB/T 30858-2014《蓝宝石单晶衬底抛光片》,发布日期:2014-07-24,实施日期:2015-04-01。由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口,由协鑫光电科技控股有限公司、中国科学院上海光机所、浙江昀丰新能源科技有限公司、浙江上城科技有限公司、江苏吉星新材料有限公司起草。
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