第08章-离子注入工艺 - 图文

射线系统

?离子源

–热灯丝离子源、射频离子源、微波离子源

?萃取系统

–负偏压萃取电极将离子从离子源内的等离子体中抽出并加速到~50keV

?质谱仪

–精确选择所需的离子并排除不需要的离子

?后段加速系统

–射束电流控制、后段加速、离子束聚焦、射线形状控制

?电荷中性化系统

–等离子体注入系统、电子枪、电子淋浴器

?晶圆处理器

–旋转轮式系统、旋转盘式系统、扫描离子束系统、扩展离子束系统

?射线阻挡器

–吸收离子束能量，测量射束电流、能量和形状的离子束监测器

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热灯丝离子源

热灯丝离子源

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射频离子源和微波离子源

射频离子源示意图微波离子源示意图

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萃取系统

离子束萃取系统示意图

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