2013年AQUA 控制器与旧型比较表-台湾AQUA制 - 图文

2012年 日本 日本 AQUA 蝕刻控制器舊型號與新型號控制器之功能比較表 (1月製作) ASC-700(停產) 型號 型號 ASC-710 雙氧水 ASC-711 氯酸鈉 ASC-720 氯化鐵 LCD 背光式LED(比LCD壽命更長) LCD 背光式LED(比LCD壽命更長) DC直流 24V 35W (可避免大電壓衝擊造成的控制器損壞。電壓衝擊造成的控制器損壞。) 均附AC/DC ADAPTER電源轉換器一只一只，換器一只，線長3M。 請增設插頭或直接以DC直流24V電源輸入 1、COUNTER預測 預測 PT自動模式 自動模式 2、SENSOR感測模式 感測模式 預測模式 3、COUNTER預測模式 4、COUNTER預測+ SENSOR預測+ SENSOR感測模式同時(測模式同時(共同採用負荷追蹤方式+方式+預測投入方式)預測投入方式) ※負荷追蹤方式：負荷追蹤方式：複合式濃度變動雙控制，依實際生産量+動雙控制，依實際生産量+實際負荷變化，負荷變化，自動調整補充量。自動調整補充量。 DC直流 24V 35W (可避免大電壓衝擊造成的控制器損壞。電壓衝擊造成的控制器損壞。) 均附AC/DC ADAPTER電源轉AC交流 85~250V 50/60Hz 換器一只，換器一只，線長3M。 請增設插頭或直接以DC直流24V電源輸入 SENSOR感測模式(感測模式(採用負荷追蹤方式)採用負荷追蹤方式) ※負荷追蹤方式：負荷追蹤方式：複合式濃度變動雙控制，複合式濃度變動雙控制，依實際生産量+依實際生産量+實際負荷變化，荷變化，自動調整補充量。自動調整補充量。 ASC-7000(新型) ASC-ASC-7100 雙氧水 雙氧水 ASC-ASC-7110 氯酸鈉 氯酸鈉 ASC-ASC-7200 氯化鐵 氯化鐵 ASC-900(停產) ASC-910 雙氧水 ASC-911 氯酸鈉 ASC-920 氯化鐵 ASC-9000(新型) ASC-ASC-9100 雙氧水 雙氧水 ASC-ASC-9110 氯酸鈉 氯酸鈉 ASC-ASC-9200 9200 氯化鐵 氯化鐵 外觀 外觀 面板尺寸 面板尺寸 電源電壓 電源電壓 AC交流 85~250V 50/60Hz 濃度變化的檢測並控制動作 ①感測模式 ②根據控制精度及循環時間等的資料差異 1、SENSOR感測模式 感測模式 2、COUNTER預測模式 預測模式 ①負荷追蹤方式 3、COUNTER預測+ 預測+ SENSOR感幫浦對應藥液的負荷量可自動的切換ON/OFF時間以控制藥液濃度。時間以控制藥液濃度。 測模式同時(測模式同時(共同採用負荷追蹤濃度偏向劣化的情形時，濃度偏向劣化的情形時，幫浦ON的時間增加，的時間增加，配合劣化速度以進行藥液方式+方式+預測投入方式)預測投入方式) 補充；補充；濃度回復正常時濃度回復正常時，復正常時，幫浦OFF的時間增加，的時間增加，符合藥液變動幅度注入 藥液，藥液，可以儘早回復正確的目標值 ※負荷追蹤方式：負荷追蹤方式：複合式濃度變根據幫浦ON/OFF判斷適用細線路?判斷適用細線路?電阻回路形成?電阻回路形成?厚銅蝕刻等的藥液

動雙控制，動雙控制，依實際生産量+依實際生産量+實際管理：管理：②S.G ：3/1000 HCl ：0.2M/L H2O2：5.0Cap 負荷變化，自動調整補充量。自動調整補充量。 不管是感測?不管是感測?計數模式，計數模式，採用負荷追蹤方式，採用負荷追蹤方式，都擁有比舊型機高3倍的控負荷變化，制能力 對各感測測的 對各感測測的 控制動作 控制動作 警報顯示 警報顯示 安全機能)(安全機能) 交鎖控制 交鎖控制 (安全機能)安全機能) 個別?個別?全部警報出力及面板顯示 全部警報出力及面板顯示 （幫浦過量警報+幫浦過量警報+上限+上限+下限）下限）

設定值自由選定 (1-X：X為自由選定) 個別?個別?全部警報出力及面板顯示：全部警報出力及面板顯示： 個別?個別?全部警報出力及面板顯示 全部警報出力及面板顯示 1、 上限+（幫浦過量警報+上限+下限(下限(全部項目)全部項目) 幫浦過量警報+上限+上限+下限）下限） 2、 幫浦過量添加警報(幫浦過量添加警報(三組)三組) 3、 生産狀態交鎖警報(生産狀態交鎖警報(四組)四組) 4、 生産溫度交鎖警報 生産溫度交鎖警報

個別?個別?全部警報出力及面板顯示：全部警報出力及面板顯示：

※ 上限+上限+下限(下限(全部項目)全部項目) ※ 幫浦過量添加警報(幫浦過量添加警報(三組)三組) ※ 生産狀態交鎖警報(生産狀態交鎖警報(四組)四組) ※ 生産溫度交鎖警報 生産溫度交鎖警報

個別?個別?全部警報出力及面板顯示 全部警報出力及面板顯示 / 溫度內部交鎖及各幫浦的內部交鎖/

?噴霧幫浦 噴霧幫浦 (可對應(可對應)可對應)/?循環幫浦 循環幫浦 (可對應(可對應)可對應)/?取樣幫浦 取樣幫浦 (可對應(可對應)可對應)/?輸送帶馬達 輸送帶馬達 (可對應(可對應)可對應)

雙氧水系統：比重感測器(BE-D1)、鹽酸感測器(HCl-M1)、雙氧水感測器(H2O2-S1) 使用SENSOR ENSOR 氯酸鈉系統：比重感測器(BE-D1)、鹽酸感測器(中酸HCl-M50或 低酸HCl-M60)、氯酸鈉感測器(NCO-S1) 感測器)(感測器) 氯化鐵系統：比重感測器(BE-D2)、鹽酸感測器(HCl-M2 )、氯化鐵感測器(FS-S2) 各感測器的 各感測器的 校正機能 校正機能 參數記憶組 參數記憶組 COUNTER COUNTER 預測生產管理 預測生產管理 有：

面板即時顯示。

圖形顯示機能 圖形顯示機能 4小時到24小時的記憶顯示範圍 曲線圖及柱狀圖切換顯示

調整ZERO?SPAN：SPAN：觸控面板顯示，同時顯示調整誤差同時顯示調整誤差。示調整誤差。操作精簡容易，操作精簡容易，且可保留補償數值，且可保留補償數值，管理便利。管理便利。

無 無 有： 面板即時顯示。面板即時顯示。

4小時到72小時的記憶顯示範圍 小時的記憶顯示範圍 曲線圖、曲線圖、柱狀圖、縱向曲線及，縱向曲線及， 10分鐘到7天的記憶顯示數值紀錄的記憶顯示數值紀錄等四種切換顯示 等四種切換顯示

(數值記錄可達三個月)數值記錄可達三個月) 已移除；已移除；改為收費性選配機能，改為收費性選配機能，需

加裝變換機才能使用 加裝變換機才能使用

128組(適用多料號生產型態) 面板即可監控投入(面板即可監控投入(計算投入量計算投入量)、投入狀態、投入狀態、生産連續性。生産連續性。

一有不正常投板，一有不正常投板，可由面板發現。可由面板發現。 有：

面板即時顯示。

4小時到24小時的記憶顯示範圍 曲線圖及柱狀圖切換顯示

有： 面板即時顯示。面板即時顯示。

4小時到72小時的記憶顯示範圍小時的記憶顯示範圍 範圍 曲線圖、曲線圖、柱狀圖、縱向曲線及，縱向曲線及， 10分鐘到7天的記憶顯示數值紀錄等四種切換顯示 等四種切換顯示

(數值記錄可達三個月)數值記錄可達三個月) 已移除；已移除；改為收費性選配機能，改為收費性選配機能，需

加裝變換機才能使用 加裝變換機才能使用

記錄出力 記錄出力 濃度變化的檢測方法 測方法 顯示方法 顯示方法 0-1000 mv 出力 出力

0-1000 mv 出力 出力

感測器檢查方式：感測器檢查方式：設置取樣槽，設置取樣槽，根據各感測器即時檢查出的藥液濃度，根據各感測器即時檢查出的藥液濃度，以高分解能表示。以高分解能表示。 比舊型機更快速檢測出藥液變動，比舊型機更快速檢測出藥液變動，以防止藥液的浪費

S.G：表示1/1000 HCl：表示1/1000 H2O2/NaClO3/FeCl3：表示1/100 TEMP：表示1/100

JAR 日本アクア（株）台灣營業所 〒330 桃園市蓮埔街98號1F TEL: (03)3575027 FAX: (03)3574751 E-mail：taiwan.aqua@msa.hinet.net