当前位置:首页 > 光伏材料制造设备原理与控制 014409300619 姚寒聪 - 图文
光伏材料制造设备的控制系统
①统报警”为晶体生长系统运行过程中的所有报警显示。报警时红色状态指示灯亮。
②“埚跟比CL/SL”:晶升速度和埚升速度的比例系数。当进入自动控制后埚升速度随着晶升速度变化而变化,以保证炉内液面位置的相对恒定。(埚升速度=晶升速度*埚跟比CL/SL)通过操作SW可改变指示灯状态:SW指示灯亮,埚跟比CL/SL进入使能状态,熄灭则退出使能状态。
③“起始长度”:若2次或2次以上成晶,需要设置起始长度为已成晶晶体总长度,此时CL/SL、温校速率、晶升速率等随起始长度的增加随参数设置变化。
④“起始长度”:若2次或2次以上成晶,需要设置起始长度为已成晶晶体总长度,此时CL/SL、温校速率、晶升速率等随起始长度的增加随参数设置变化。
?中间列:晶体生长控制器参数及操作画面和控制器实时曲线。 ①细颈:该界面用于描述控制器自动细颈控制状态。 ②放肩:该界面用于描述控制器自动放肩控制状态。 ③收肩:该界面用于描述控制器自动收肩控制状态。
④等径:该界面用于描述控制器自动控制状态:直径控制器,温度控制器,控制器实时曲线。
⑤“直径偏差和晶升偏差”表示自动控制状态下晶体直径的当前偏差值。 ⑥“直径”表示自动控制状态下的当前直径。“直径SP”为自动控制状态下的目标直径给定值。
⑦“晶升SP(mm/min)和SL控制(mm/min)”为自动控制状态下的晶升目标给定值和当前晶升速度。
⑧“温校控制mV”表示该控制器投入等径自动控制后的温校速率变化总和。 ⑨“控制器实时曲线”中可观察直径偏差,晶升偏差,温校速率的状态。 ⑩控制器实时曲线横坐标为时间,纵坐标为显示比例。各曲线与字体颜色一致。
?右 列:由上至下分别是系统运行状态,氩气阀门开度,主室阀门开度,主室副室真空指示,加热电压,加热电流,加热功率。界面中的绿色状态指示灯表示系统进入自动状态后,该操作也处于自动控制状态。
?注:界面中的黄色字体内容均为系统各状态的计算机显示,不可改动。
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第三章 生长速度系统界面(速度系统 F3)
按【速度系统 F3】键进入晶体生长速度系统界面。该界面可设置晶体生长过程中的晶升、晶转、埚升、埚转速度系统的参数显示及参数设置,并完成对速度系统的供电、速度给定等操作过程。
界面说明:
? 界面的中间部分为速度系统参数显示、参数设置及操作按键。 ? 该界面主要用于描述系统速度状态:晶升晶转系统,埚升埚转系统,速度系统实时曲线。
? “晶升晶转系统和埚升埚转系统”包括:电源开启状态,速度给定显示状态,旋转方向状态,上下限位状态,快速升降状态和设置参数。状态指示灯亮表示开启该状态。以上各个状态均可通过该操作按键改变。
? “速度系统实时曲线”可观察晶升速度,埚升速度,晶转速度,埚转速度的状态。速度系统实时曲线横坐标为时间,纵坐标为显示比例。各曲线与字体颜色一致。
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点击晶升晶转系统的“参数设置”进入如下界面:
界面说明:
? 该界面为晶升晶转系统的“设置参数”界面。在此界面中,需要设置晶升显示系数,晶转显示系数,晶升快速比例。
? 晶升晶转参数自上到下分别为晶升显示系数,晶转显示系数,晶转自测反馈,晶升平均速度,晶升快速比例。
? “晶升系数”为晶升速度计算机显示的比例系数,设置值为1.000。 ? “晶转显示系数”为晶转速度计算机显示的比例系数,设置值为1.000。 ? 注:晶升系数,晶转显示系数默认值为出厂设置,不需改动。 ? “晶升快速”为晶升快速电机快升快降的控制输出比例,可根据使用需要设定,建议设置为80%且不能为零。
“晶转自测反馈和晶升平均速度”为实际速度自测反馈显示,不可更改(黄色字体)
击埚升埚转系统的“参数设置”进入如下界面:
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界面说明:
? 该界面为埚升埚转系统的“设置参数”界面,在此界面中,需要设置埚升显示系数,埚转显示系数,埚升快速比例。
? 埚升埚转参数自上到下分别为埚升显示系数,埚转显示系数,埚升自测反馈,埚转自测反馈,埚升平均速度,埚升快速比例。
? “埚升系数”为埚升速度计算机显示的比例系数,设置值为3.100。 ? “埚转显示系数”为埚转速度计算机显示的比例系数,设置值为0.440。 ? 注:埚升系数,埚转显示系数默认值为出厂设置,不需改动。 ? “埚升快速”为埚升快速电机快升快降的控制输出比例,可根据使用需要设定,建议设置为80%且不能为零。
? “埚升、埚转自测反馈和埚升平均速度”为实际速度自测反馈显示,不可更改(黄色字体)。
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