流量计使用情况的统计

真空计与流量计在光伏行业PECVD设备上的使用情况

国内光伏行业普遍使用的PECVD设备是由德国Ruth&Rau公司提供的。如常州天合， Ruth&Rau公司国内目前重要的最终用户。

Ruth&Rau的PECVD设备上装配的压力计多为MKS的626B13TDE和627D01TDC1B，流量计多为1179B (SiH4，NH3)，这些产品均为MKS德国工厂所生产，所以在价格上面会比较高。而国内本土的PECVD设备商，如七星华创、中电48所，选配的压力计除MKS的626B和627D外，也有INFICON电容薄膜规：CDG025D，相对MKS产品价格要便宜一些。两者的区别(以CDG025D和626B为例)主要体现在量程跨度和精度上面;626B的量程可以跨越105量级，如一般用的满量程为10Torr的，最小可以测到10-4Torr，对应INFICON满量程10Torr的CDG025D，其最小可以测到10-3Torr。不过，光伏行业的PECVD工艺通常真空度不会低于1Pa，常用在50-300Pa，所以，两者都可以满足。

在精度方面626B的精度为0.25%，CDG025D的精度为0.2%，CDG025D略高一些，不过相差不大，可相互替代。MKS的627D是加热型电容薄膜规，精度为0.12%，与INFICON的CDG045D类似，不过这2款的价格要高很多。

流量计方面，除了MKS的1179B系列以外，为节约成本，国内的设备商业找到想要的替代产品，如BROOKS，Horiba，日本山武，Alicat等其他品牌可根据最终用户的要求来选择，不过总体来说在PECVD的应用上，MKS的流量计用得最多，性能最稳定，性价比最高。

质量流量计以科氏力为基础，在传感器内部有两根平行的T型振管，中部装有驱动线圈，两端装有拾振线圈，质量流量计直接测量通过流量计的介质的质量流量，还可测量介质的密度及间接测量介质的温度。质量流量计是一种重要的流量测量仪表。 质量流量计是采用感热式测量。 流体在旋转的管内流动时会对管壁产生一个力，它是科里奥利在1832年研究轮机时发现的，简称科氏力。在1977年由美国高准(Micro Motion)公司的创始人根据此原理研发出世界上第一台可以实际使用的质量流量计。质量流量计以科氏力为基础，在传感器内部有两根平行的流量管，中部装有驱动线圈，两端装有检测线圈，变送器提供的激励电压加到驱动线圈上时，振动管作往复周 质量流量计 期振动，工业过程的流体介质流经传感器的振动管，就会在振管上产生科氏力效应，使两根振管扭转振动，安装在振管两端的检测线圈将产生相位不同的两组信号，这两个信号的相位差与流经传感器的流体质量流量成比例关系。计算机解算出流经振管的质量流量。不同的介质流经传感器时，振管的主振频率不同，据此解算出介质密度。安装在传感器器振管上的铂电阻可间接测量介质的温度。 质量流量计直接测量通过流量计的介质的质量流量,还可测量介质的密度及间接测量介质的温度。由于变送器是以单片机为核心的智能仪表，因此可根据上述三个基本量而导出十几种参数供用户使用。质量流量计组态灵活，功能强大,性能价格比高，是新一代流量仪表。

测量管道内质量流量的流量测量仪表。在被测流体处于压力、温度等参数变化很大的条件下，若仅测量体积流量，则会因为流体密度的变化带来很大的测量误差。在容积式和差压式流量计中，被测流体的密度可能变化30%，这会使流量产生30～40%的误差。随着自动化水平的提高，许多生产过程都对流量测量提出了新的要求。化学反应过程是受原料的质量(而不是体积)控制的。蒸气、空气流

的加热、冷却效应也是与质量流量成比例的。产品质量的严格控制、精确的成本核算、飞机和导弹的燃料量控制，也都需要精确的质量流量测量。因此质量流量计是一种重要的流量测量仪表。文章来自：http://www.bjrthl.com/，如果有更多有关质

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