光刻版沾污分析报告 - 图文

光刻版沾污分析报告 报告人：陈明钰 日期：2011-5-25

一、成立小组：

陈明钰、程艳丽、王品东、吕永志

二、问题描述：

2.1. 2011年4月22日检版时发现JMD产品A180BN、B247DM、B430K和FRED产品F3674D、

F2200D、F4450D、F6200D、F4422D图形铬面均有不同程度大面积点状沾污。共计24块。

2.2. 4月27日再次发现SKY产品SBDS101-C6-A-WL点状沾污。1块。 2.3. 4月29日统计在此之前2011年发生此问题光刻版SKY产品6块。JMD产品2块。

MOS产品3块。共计11块。

2.4. 5月20日再次发现MOS产品JX826-A-01，JX826-A-02点状沾污。2块。 2.5. 以上总计38块。

三、临时处置：

3.1. 返厂清洗后加膜，共计18块；

3.2. 无膜版可自己清洗擦拭，共计12块； 3.3. 暂时没有片子未处理，共计7块；

3.4. 沾污较少未影响质量未处理，共计1块。

四、原因查找：

4.1数据情况：

4.1.1 2011年沾污版：

序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 异常时间 2011.2.21 2011.2.21 2011.2.21 2011.2.21 2011.2.21 2011.2.21 2011.3.7 2011.3.7 2011.3.7 2011.3.7 2011.3.7 2011-4-22 2011-4-22 2011-4-22 2011-4-22 2011-4-22 光刻版名 SBDS080-C6-A-PP SBDS080-C6-A-AL SBDS014-C6-A-PP SBDS087-C6-A-WL SBDS101-C6-B-AL SBDS030-C6-A-AL B350K-C6-B-BASE B350K-C6-B-METAL LG2703-D-PW LG2703-D-SP LG2703-D-VP A180BN-C6-A-BASE A180BN-C6-A-CONTACT A180BN-C6-A-METAL F3674D-C6-A-L3 F3674D-C6-A-L4并存入光刻工序时间 2008-1-9 2008-1-9 2007-1-2 2007.9.11 2007.4.26 2007.4.26 2006.7.27 2006.7.28 2010.2.6 2010.2.4 2010.2.5 2011.3.14 2011.3.14 2011.3.17 2009.12.29 2009.12.29 掩膜情况 处理方法 膜完整 膜完整 膜完整 膜完整 膜完整 膜完整 膜完整 膜完整 2011.2.22返厂清洗重新加膜 2011.2.22返厂清洗重新加膜 暂时没有片子未处理 2011.2.23返厂清洗重新加膜 2011.3.8返厂清洗重新加膜 2011.2.23返厂清洗重新加膜 2011.3.8返厂清洗重新加膜 沾污较少未影响质量，未处理 7号柜 无锡华润 无锡华润 8号柜 无锡华润 存放柜号 制版厂家 无保护膜 无膜版可以擦拭掉 无保护膜 无膜版可以擦拭掉 无保护膜 无膜版可以擦拭掉 膜完整 膜完整 膜完整 膜完整 膜完整 2011.5.9返厂清洗后重新加膜 2011.5.9返厂清洗后重新加膜 2011.5.9返厂清洗后重新加膜 7号柜 暂时没有片子未处理 暂时没有片子未处理 3号柜 深圳清溢

版 F3674D-C6-B-L4并存17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 2011-4-22 2011-4-22 2011-4-22 2011-4-22 2011-4-22 2011-4-22 2011-4-22 2011-4-22 2011-4-22 2011-4-22 2011-4-22 2011-4-22 2011-4-22 2011-4-22 2011-4-22 2011-4-22 2011-4-22 2011-4-22 2011-4-22 2011-4-27 版 B247DM-C6-A-EMITTER B247DM-C6-A-CONTACT B247DM-C6-A-METAL F2200D-C6-A-L1 F4450D-C6-A-L3 F4450D-C6-A-L1 F4450D-C6-A-L5 B430K-C6-B-BASE F6200D-C6-A-L5 F4422D-C6-A-L1 F4422D-C6-A-L4 B270-C6-A-BASE B270-C6-A-EMITTER B270-C6-A-CONTACT B270-C6-B-METAL B270-C6-A-PAD SY003-C6-B-L4并存版 SY003-C6-A-L6 SBDS101-C6-A-WL JX826-A-01-PW/SN/SP37 38 2011-5-20 2011-5-20 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 异常时间 2010.3.17 2010.3.17 2010.3.17 2010.3.17 2010.3.17 2010.3.17 2010.3.17 2010.3.17 2010.3.17 光刻版名 SBDS060-C6-B-PP SBDS068-C6-A-PP SBDS068-C6-A-WL SBDS068-C6-A-AL并存版 SBDS028-C6-A-PP SBDS028-C6-A-PP SBDS028-C6-A-WL SBDS072-C6-A-PP SBDS072-C6-A-WL /-B-AL复合版 JX826-A-02-VP/WL/AL/CP复合版 2010-10-23 无保护膜 无膜版可以擦拭掉 2010-10-23 无保护膜 无膜版可以擦拭掉 15-5号柜 深圳清溢 2009.12.29 2010-1-22 2010-1-22 2010-1-22 2011-3-11 2011-3-9 2011-3-11 2011-3-11 2006-8-18 2011-3-8 2009-12-24 2009-12-24 2007-9-10 2007-9-10 2007-9-10 2007-12-4 2007-9-10 2009-12-28 2009-7-18 2006-11-1 膜完整 膜完整 膜完整 膜完整 膜完整 膜完整 膜完整 膜完整 膜完整 膜完整 膜完整 膜完整 暂时没有片子未处理 2011.5.9返厂清洗后重新加膜 2011.5.9返厂清洗后重新加膜 2011.5.9返厂清洗后重新加膜 2011.4.30返厂清洗重新加膜 2011.4.30返厂清洗重新加膜 2011.4.30返厂清洗重新加膜 2011.4.30返厂清洗重新加膜 无锡华2011.5.9返厂清洗后重新加膜 2011.4.30返厂清洗重新加膜 暂时没有片子未处理 暂时没有片子未处理 润 深圳清溢 无保护膜 无膜版可以擦拭掉 无保护膜 无膜版可以擦拭掉 无保护膜 无膜版可以擦拭掉 无保护膜 无膜版可以擦拭掉 无保护膜 无膜版可以擦拭掉 无保护膜 无膜版可以擦拭掉 无保护膜 无膜版可以擦拭掉 膜完整 暂时没有片子未处理 8号柜 深圳清溢 无锡华润 北京机械 4.1.2 2010年沾污版： 入光刻工序时间 2007-12-4 2007-4-2 2007-4-2 2007-4-2 2007-5-14 2007-5-14 2007-5-14 2008-6-21 2007-12-20 2007-12-20 2007-12-20 2007-2-8 掩膜情况 处理方法 膜完整 膜完整 膜完整 膜完整 膜完整 膜完整 膜完整 膜完整 膜完整 膜完整 膜完整 使用D版 重新做版 重新做版 重新做版 重新做版 重新做版 重新做版 重新做版 重新做版 重新做版 清洗后加膜 8号柜 无锡华润 存放柜号 制版厂家 膜损伤！ 重新做版 2010.3.17 SBDS028-C6-B-AL并存版 2010.3.17 SBDS072-C6-A-AL并存版 12 2010.10.22 SBDD138-C6-B-AL并存版

4.2 通过对光刻版缺陷检查及版柜位置摆放发现有以下共同特点： 4.2.1均为白点雾状，虽版间大小不同，但形状相同； 4.2.2发生在7,8,15,3号版柜，7,8号版柜居多； 4.2.3都是铬面沾污，玻璃面没有。 4.3 从其特点来看分析如下：

4.3.1从白点雾状沾污特点来看，多是存储区域温湿度发生变化导致；38块沾污版

有35块是在7,8,15号版柜存放，且离槽式显影机非常近,其中15号版柜在槽式显影机背面，7,8版柜距离槽式显影机2-3米处。查找2010年版数据，也有12块此类型的沾污，也都是放在8号版柜。

4.3.2此类沾污多发生在光刻版铬面，因为铬面金属导电吸附性比玻璃面强。 4.3.3不同厂家光刻版均有此类情况，不能说明是厂家制版问题。

4.3.4膜框架的侧面有透气小孔，会导致空气流入。加膜与不加膜光刻版均有此类沾

污，不能说明是膜的材质问题。

结论：此类光刻版沾污为显影液挥发导致。

五、纠正及预防：

5.1.建议如果条件允许规划单独的存放版区域。区域内需要：

5.1.1 监控温湿度，温度为21±1℃、湿度为45±5%。监控空气中导电性。 5.1.2 金属版柜接地。防静电。

5.1.3 安装空气离子发生器。产生中和离子，避免静电积聚。 5.2.如不能规划单独的存放版区域，建议目前改进的地方：

5.2.1 所有版柜远离显影槽，远离酸碱气体，版柜区域保持空气流通。 5.2.2 版柜密封完好，内部通氮气。 5.2.3 金属版柜接地。 5.2.4 监控温湿度。