答案精密加工课后习题

9-13 如何控制噪声？隔声、吸声和消声等方法各有什么特点？ 9-14 什么是照度？什么是眩光？怎样才能提高照明质量？

9-15 集聚的静电对精密和超精密加工有什么影响？怎样才能防止静电的影响？

9-16 精密和超精密加工的主要外部支撑环境设施有哪些？在实施这些设施时追求的目标是什么？

10-1 试述纳米技术对国防工业、尖端技术以及整个科技发展的重要性 10-2 简述纳米级测量主要方法及各方法的对比

10-3 说明扫描隧道显微镜（SPM）的发展和多功能扫描探针显微镜的出现 10-4 原子力显微镜（AFM）的工作原理、方法和系统组成

10-5 简述多种扫描探针显微镜（SPM）的发展和多功能扫描探针显微镜的出现 10-6 简述原子操作中的“移动原子”和“提取去除原子”的原理和方法 10-7 简述使用SPM针尖进行雕刻加工微结构的方法

10-8 简述使用SPM进行光刻和局部阳性极化加工微结构的原理和方法 10-9 简述微型机电系统的组成、功能和最新发展

10-10 简述立体光刻工艺技术制造微器件的原理和方法 10-11简述LIGA工艺技术制造微器件的原理和方法 10-12 简述牺牲层工艺技术制造微器件的原理和方法

10-13 简述基板的键合技术的原理和方法，及其在微型机电系统制造中的应用 10-14 说明微型机械和微型机电系统（MEMS）包含什么内容？ 10-15 简述精微机械加工技术制造微器件的方法和最新进展 10-16 简述精微特种加工技术制造微器件的方法和最新进展