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上桨

碳化硅桨，易碎 安装、拆卸时切勿碰撞！ 移动、放置石英舟时，一定要小心轻放！ 石英舟，每个槽插两片硅片 片 盒 石英吸笔，从片盒中吸取硅片插到石英舟内。 严禁裸手操作，一定要戴好乳胶手套，且不得用手直接接触硅片和石英舟。 上 桨 触摸屏 13

方块电阻测量

扩散面朝上 四探针测试台 四探针主机 匀流板 距离13cm 测 量 14

如实填写《方块电阻记录表》，如有异常情况，及时通知工艺人员。 卸片、检验

卸 片 卸片台，不得放置异物，以免污染硅片！

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5．引用文件

扩散设备操作规程：SF/QD-设备-02 炉管清洗工艺操作规程：SF/QD-工艺-03 扩散检验工艺规程：SF/QD-工艺-13

承载盒 扩散面一律朝上！ 周边刻蚀工艺说明

1.目的：

确保等离子刻蚀（周边刻蚀）工艺处于稳定受控状态 2.适用范围：

适用于等离子刻蚀工序 3.责任：

本工艺说明由技术部负责 4.装夹

4.1 承载盒中的硅片：由扩散转入的硅片装在黑色的承载盒中，硅片的非扩散面面向承载

盒的底部，

硅片的扩散面面向承载盒的上部。(见图1)

4.2 硅片整理：双手拿起硅片，轻轻整理，使硅片的各侧面尽量保持在同一平面上，扩散

面面向自己，非扩散面朝外。(见图2)

4.3 装夹：将数量≤200片的硅片，装在等离子刻蚀的夹具上，硅片的扩散面与夹具底部接

触，非扩散

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